根据高精度零件定制的经验， 精密机械加工的电感测微机构的误差来源如下：

１、电感测微原理的非线性误差

因为位移和输出电压及电感是非线性的，而测量电路也存在非线性，所以，精密机械加工为了减小非线性误差，常采用差动式结构并限制测量范围。例如， 精密机械零件加工厂 对于变气隙式测量范围取1/5～1/10的气隙长度，螺管式取1/3～1/10的线圈长度，对螺管式增加线圈长度有利于扩大线性范围，但在工艺上要特别注意导磁材料与绕制的均匀性和线圈骨架的加工精度。对于差动结构应保证对称性，合理选择衔铁的长度和线圈的距数，对此要通过试验而获得。

２、测微机构的零位误差

在衔铁处于中间位置时电桥输出应为零，但由于机构中两线圈的几何参数和电气参数不对称、不一致等原因造成零位误差。过大的零位电压会使放大器提前饱和，使伺服电机发热而造成系统控制失灵。要求在装配时对主要件进行参数测量和选配，在加工中对磁性材料进行稳定性处理。

３、温度误差

测微机构使用环境温度的变化会引起零点漂移，其线性和相位都会发生变化而造成温度误差。因为温度变化后引起的机构零件尺寸的变化、材料的电阻率变化等会使线圈阻抗产生变化，破坏原有的平衡，温度变化导致磁性材料磁导率、材料介质的变化，引起输出电感量的变化和寄生电容的改变。因此，对机构中磁性材料选择上除满足磁性要求，还应注意对线胀系数大小的选择与匹配。

４、电源波动

会导致输出信号的波动，电源波动会使铁芯磁感应强度和磁导率改变造成磁阻变化，所以精密机加工电源要稳压。电源频率的波动会引起感抗的变化，可采用差动工作方式补偿其影响，选用的磁性材料要与频率变化相配。